Đó làThuyền Silica nung chảy tấm conglà chất mang wafer có độ chính xác cao được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn liên quan đến xử lý hàng loạt ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được sản xuất từ silica nung chảy có độ tinh khiết cao, chiếc thuyền này mang lại độ ổn định nhiệt đặc biệt, giãn nở nhiệt tối thiểu và khả năng chống ăn mòn và sốc nhiệt tuyệt vời.

Cấu trúc tấm uốn cong của nó cung cấp hỗ trợ wafer ổn định và tăng cường lưu lượng khí đồng đều và truyền nhiệt trong ống lò. Bề mặt nhẵn, sạch sẽ giảm thiểu sự phát sinh hạt, trong khi độ trong suốt quang học cao của vật liệu hỗ trợ kiểm tra trực quan khi cần thiết. Được thiết kế để căn chỉnh wafer nhất quán và nguy cơ ô nhiễm thấp, thuyền tấm uốn silica nung chảy đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, phòng thí nghiệm nghiên cứu và dây chuyền thí điểm.

Tại sao nó được gọi là Thuyền thạch anh tấm cong?

Thuật ngữ "Thuyền thạch anh tấm cong" xuất phát từ cả chất liệu và hình dạng thiết kế của nó:

Thạch anh:Thuyền được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao (silica nung chảy), một vật liệu được đánh giá cao trong sản xuất chất bán dẫn vì độ ổn định nhiệt tuyệt vời, kháng hóa chất và hàm lượng tạp chất thấp.

Tấm cong:Không giống như thuyền phẳng hoặc hình ống, thiết kế này có một tấm được uốn cong hoặc cong thành hình vòng cung. Cấu trúc tấm uốn cong (cong) này giúp cải thiện sự phân phối dòng khí và độ đồng đều nhiệt xung quanh các tấm wafer trong quá trình xử lý nhiệt độ cao. Độ cong cho phép các tấm wafer tiếp xúc tốt hơn với khí xử lý và phân phối nhiệt đều hơn.

Thuyền:Trong quá trình xử lý chất bán dẫn, "thuyền" là thuật ngữ công nghiệp để chỉ một tàu sân bay hoặc thiết bị cố định giữ các tấm wafer một cách an toàn trong quá trình xử lý lò hoặc ống khuếch tán.

Vì vậy, "Thuyền thạch anh tấm cong" theo nghĩa đen có nghĩa là một tàu sân bay wafer dựa trên thạch anh với thiết kế tấm uốn cong (cong) được tối ưu hóa để xử lý tấm wafer đồng nhất trong chế tạo chất bán dẫn nhiệt độ cao.