Vách ngăn thạch anh cho lò nganglà các thành phần chuyên dụng được thiết kế để tối ưu hóa phân phối nhiệt và bảo vệ tấm silicon trong các quá trình bán dẫn ở nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được làm từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, những vách ngăn này phản xạ và khuếch tán năng lượng nhiệt trong ống lò, giúp loại bỏ các điểm nóng cục bộ và đảm bảo tiếp xúc nhiệt đồng đều trên tất cả các tấm wafer.

Bằng cách hoạt động như một rào cản nhiệt, các vách ngăn làm giảm bức xạ trực tiếp trên bề mặt tấm wafer, do đó giảm thiểu ứng suất nhiệt và cải thiện tính nhất quán của quy trình tổng thể. Xử lý bề mặt phun cát giúp tăng cường hiệu suất nhiệt đồng thời giảm thiểu sự tạo ra hạt. Với khả năng chống nóng, ăn mòn hóa học và sốc nhiệt tuyệt vời, và với hàm lượng tạp chất cực thấp, những vách ngăn thạch anh này lý tưởng cho các thiết lập lò ngang trong cả môi trường sản xuất và R & D.

Lò ngang trong ngành bán dẫn là gì?

Lò ngang trong ngành công nghiệp bán dẫn là một loại thiết bị xử lý nhiệt độ cao, trong đó các tấm wafer được nạp theo chiều ngang vào một lò hình ống dài. Nó được sử dụng rộng rãi cho các quá trình nhiệt như khuếch tán, oxy hóa, ủ và lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Các đặc điểm chính

• Tải ngang:Các tấm wafer được đặt trên thuyền thạch anh hoặc tàu sân bay và được lắp theo chiều ngang vào ống lò, cho phép xử lý hàng loạt nhiều tấm wafer đồng thời.
• Kiểm soát nhiệt độ đồng đều:Lò cung cấp một môi trường nhiệt độ ổn định, được kiểm soát, cần thiết cho sự khuếch tán dopant chính xác, tăng trưởng oxit hoặc lắng đọng màng.
• Bầu không khí được kiểm soát:Lưu lượng khí (ví dụ: oxy, nitơ, khí pha tạp) được điều chỉnh chính xác để đảm bảo hóa học quy trình nhất quán trên tất cả các tấm wafer.
• Hiệu quả xử lý hàng loạt:Cho phép thông lượng cao bằng cách xử lý nhiều tấm wafer trong một lần chạy, thường được sử dụng trong các nhà máy bán dẫn để sản xuất số lượng lớn.

Tại sao lò ngang lại quan trọng

• Chúng cho phép xử lý nhiệt đồng đều rất quan trọng đối với hiệu suất của thiết bị.
• Thiết kế ngang giúp đơn giản hóa việc tải / dỡ và bảo trì wafer.
• Tương thích với nhiều quy trình nhiệt cần thiết trong chế tạo chất bán dẫn.

Lò ngang là thiết bị cần thiết để thực hiện các quy trình nhiệt khối lượng lớn, đáng tin cậy trong sản xuất tấm bán dẫn.