Đó làVách ngăn thạch anhCó bề mặt phun cát, mờ được thiết kế để cách nhiệt hiệu quả trong các ống lò bán dẫn nhiệt độ cao. Cấu trúc của nó kết hợp các ống nhỏ để tạo điều kiện bơm chính xác các khí quy trình cần thiết cho sản xuất tấm wafer, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD.

Được chế tạo từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, vách ngăn này có khả năng chống nóng, ăn mòn hóa học và sốc nhiệt tuyệt vời, đồng thời duy trì mức tạp chất thấp để giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm. Bề mặt phun cát giúp tăng cường hiệu suất nhiệt và giảm tạo hạt, đảm bảo kiểm soát nhiệt độ ổn định và phân phối khí nhất quán trong suốt quá trình. Lý tưởng cho các nhà máy bán dẫn và phòng thí nghiệm R & D, Vách ngăn thạch anh cải thiện tính đồng nhất của quy trình và chất lượng tấm wafer.

Vách ngăn thạch anh cải thiện tính đồng nhất và năng suất của wafer như thế nào

1. Đảm bảo lưu lượng khí đồng đều

Vách ngăn thạch anh hướng dẫn khí xử lý đồng đều trên tất cả các tấm wafer. Bằng cách ngăn chặn nhiễu loạn khí cục bộ, chúng giúp duy trì các phản ứng hóa học nhất quán và lắng đọng lớp, giúp giảm sự thay đổi giữa các tấm wafer.

2. Kiểm soát phân phối nhiệt

Vách ngăn phản xạ và khuếch tán năng lượng nhiệt, giảm thiểu các điểm nóng và bức xạ trực tiếp trên bề mặt tấm wafer. Sự phân bố nhiệt độ đồng đều này đảm bảo các quá trình khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng chính xác, bảo vệ tấm wafer khỏi ứng suất nhiệt.

3. Phòng chống ô nhiễm

Thiết kế chính xác của vách ngăn thạch anh làm giảm sự tạo ra hạt và dòng ngược của các sản phẩm phụ trong quá trình. Môi trường xử lý sạch hơn góp phần mang lại năng suất cao hơn và tỷ lệ lỗi thấp hơn.

4. Khả năng tương thích với các hệ thống tự động

Vách ngăn thạch anh chất lượng cao được sản xuất với dung sai chặt chẽ, đảm bảo căn chỉnh và tích hợp thích hợp với các chất mang tấm wafer và hệ thống xử lý tự động, duy trì độ tin cậy và độ lặp lại của quy trình.

Bằng cách tối ưu hóa lưu lượng khí và độ đồng đều nhiệt đồng thời giảm thiểu rủi ro ô nhiễm, vách ngăn thạch anh đóng một vai trò quan trọng trong việc cải thiện độ đồng nhất của tấm wafer và nâng cao năng suất sản xuất chất bán dẫn.