Vách ngăn cân bằng dòng thạch anh có độ tinh khiết caolà các thành phần được thiết kế chính xác được thiết kế để điều chỉnh và ổn định dòng khí quy trình trong các bước sản xuất chất bán dẫn ở nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được lắp đặt trong hệ thống lò, các vách ngăn này dẫn hướng và phân phối đều khí trên bề mặt tấm wafer, giúp duy trì nồng độ và nhiệt độ khí đồng đều trong toàn bộ thuyền thạch anh.

Được làm từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, những vách ngăn này cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và hàm lượng tạp chất cực thấp — đảm bảo môi trường xử lý sạch sẽ và được kiểm soát. Bề mặt phun cát cải thiện hiệu suất phân tán khí đồng thời giảm thiểu tạo hạt. Bằng cách thúc đẩy tiếp xúc với khí nhất quán, những vách ngăn này góp phần cải thiện tính đồng nhất của lớp, giảm tỷ lệ khuyết tật và năng suất quy trình cao hơn trong cả dây chuyền sản xuất và cài đặt R&D.

Mục đích và chức năng của vách ngăn cân bằng dòng chảy trong xử lý chất bán dẫn

Vách ngăn cân bằng dòng chảy là gì?

Vách ngăn cân bằng dòng chảy là các thành phần thạch anh được thiết kế chính xác được lắp đặt bên trong lò khuếch tán, oxy hóa và CVD (Lắng đọng hơi hóa học). Chúng hướng dẫn và phân tán khí quá trình đồng đều khắp buồng lò, ngăn chặn nồng độ khí không đồng đều hoặc độ dốc nhiệt độ có thể gây ra khuyết tật hoặc pha tạp không nhất quán.

Vách ngăn cân bằng dòng chảy hoạt động như thế nào?

Các vách ngăn thường có nhiều lỗ nhỏ hoặc lỗ được thiết kế để phá vỡ và phân phối lại các dòng khí. Sự cân bằng này tạo ra dòng khí tầng, ổn định trên bề mặt tấm wafer. Được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao, vách ngăn chống lại nhiệt độ cao và khí ăn mòn phổ biến trong các quy trình bán dẫn, đảm bảo độ bền và hoạt động không bị nhiễm bẩn.

Ứng dụng trong xử lý chất bán dẫn

Vách ngăn cân bằng dòng chảy rất quan trọng trong các quy trình như:

• Khuếch tán
• Quá trình oxy hóa
• Lắng đọng hơi hóa học (CVD)

Chúng được sử dụng trong các lò gia công hàng loạt, nơi nhiều tấm wafer được xử lý đồng thời và tính đồng nhất là rất quan trọng.