Tên:
Giá đỡ thuyền thạch anh 6 inch
Chức năng & Ứng dụng:
Thuyền thạch anh đóng vai trò như một tàu sân bay để vận chuyển và xử lý các tấm bán dẫn. Nó được móc bằng một móc thạch anh ở thanh trung tâm và các con lăn dưới cùng quay để điều khiển chuyển động của giá đỡ thuyền. Nó được áp dụng trong các quá trình khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD trong sản xuất wafer, là các quy trình nhiệt độ cao.
Yêu cầu về hiệu suất:
Chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định nhiệt tuyệt vời, độ trong suốt quang học cao và hàm lượng tạp chất thấp.
Số 5177 Đường Tây Qianghua, Phố Dongqian, Quận Nanxun, Thành phố Hồ Châu, Tỉnh Chiết Giang
+86-572-3032373
+86-572-3033016
Đó làGiá đỡ thuyền thạch anh Silica nung chảylà một thành phần được thiết kế chính xác được thiết kế để mang và vận chuyển thuyền thạch anh bán dẫn một cách an toàn trong các quy trình sản xuất tấm wafer ở nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được trang bị một móc thạch anh trên thanh trung tâm và con lăn đáy, nó cho phép chuyển động trơn tru, có kiểm soát của giá đỡ thuyền trong ống lò, tạo điều kiện xử lý hàng loạt hiệu quả.
Được làm từ silica nung chảy siêu tinh khiết, giá đỡ này mang lại độ ổn định nhiệt đặc biệt, chống ăn mòn và độ trong suốt quang học cao. Hàm lượng tạp chất thấp của nó đảm bảo ô nhiễm tối thiểu, duy trì các tiêu chuẩn phòng sạch và bảo vệ tính toàn vẹn của tấm wafer trong các chu kỳ nhiệt quan trọng. Thiết kế mạnh mẽ đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong các điều kiện khắc nghiệt, làm cho nó trở thành một yếu tố thiết yếu trong chế tạo chất bán dẫn tiên tiến.
Giá đỡ thuyền thạch anh silica nung chảy là thành phần quan trọng trong quá trình xử lý tấm bán dẫn nhiệt độ cao. Độ tinh khiết cao, ổn định nhiệt và hàm lượng tạp chất thấp đảm bảo rằng các tấm silicon được hỗ trợ và bảo vệ an toàn khỏi ô nhiễm.
Tích hợp các giá đỡ này với hệ thống xử lý tấm wafer tự động giúp nâng cao hiệu quả sản xuất và độ lặp lại. Căn chỉnh thích hợp và khả năng tương thích của giá đỡ với cánh tay robot hoặc hệ thống băng tải giúp giảm thiểu thiệt hại của tấm wafer, giảm tạo hạt và đảm bảo tiếp xúc với nhiệt nhất quán. Chọn giá đỡ silica nung chảy phù hợp cho lò cụ thể và thiết lập tự động hóa là điều cần thiết để duy trì năng suất cao và xử lý tấm wafer đồng đều.
Giá đỡ chất lượng cao với kích thước chính xác và bề mặt nhẵn cũng đơn giản hóa việc xếp dỡ tự động, hỗ trợ xử lý hàng loạt liên tục đồng thời giảm thời gian ngừng hoạt động và yêu cầu bảo trì.