Tên:

Dòng thuyền thạch anh 6 inch

Chức năng & Ứng dụng:

Dòng sản phẩm này bao gồm nhiều loại thuyền thạch anh, chẳng hạn như thuyền lồng, thuyền vách ngăn, thuyền cơ sở và thuyền wafer tiêu chuẩn, được thiết kế để hỗ trợ các tấm silicon trong các quá trình bán dẫn ở nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa, lắng đọng CVD và làm sạch tấm wafer. Những hình dạng và cấu trúc khác nhau này tối ưu hóa dòng khí, độ đồng đều nhiệt và độ ổn định của tấm wafer trong một loạt các ứng dụng sản xuất và nghiên cứu.

Yêu cầu về hiệu suất:

Kết cấu thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao với độ ổn định nhiệt tuyệt vời, chống ăn mòn và hàm lượng tạp chất thấp. Thiết kế mạnh mẽ để chịu được chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại. Bề mặt nhẵn, đánh bóng hoặc phun cát để giảm thiểu sự phát sinh và ô nhiễm hạt, đảm bảo khả năng tương thích với các hệ thống xử lý tấm wafer tự động và các loại lò khác nhau.