Tên:
Vòng thạch anh OP 8 inch
Chức năng & Ứng dụng:
Hoạt động như một thành phần bảo vệ để ngăn ngừa các tạp chất khác nhau trong quá trình sản xuất khắc, đảm bảo niêm phong và bảo vệ buồng. Nó được áp dụng trong các quy trình khắc sản xuất wafer, là quy trình nhiệt độ thấp.
Yêu cầu về hiệu suất:
Chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định nhiệt tuyệt vời và hàm lượng tạp chất thấp.
Số 5177 Đường Tây Qianghua, Phố Dongqian, Quận Nanxun, Thành phố Hồ Châu, Tỉnh Chiết Giang
+86-572-3032373
+86-572-3033016
Đó làNhẫn thạch anh OP là một thành phần có độ chính xác cao được chế tạo từ silica nung chảy siêu tinh khiết, được thiết kế để cung cấp hỗ trợ, niêm phong hoặc khoảng cách đáng tin cậy trong các hệ thống xử lý bán dẫn và quang điện. Được biết đến với độ ổn định nhiệt đặc biệt, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng kháng hóa chất vượt trội, chiếc nhẫn này chịu được môi trường xử lý khắc nghiệt và chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại.
Kích thước chính xác của nó đảm bảo sự phù hợp và căn chỉnh tối ưu trong các cụm lò, góp phần kiểm soát nhiệt độ và lưu lượng khí đồng đều trong các quy trình như CVD, khuếch tán và ủ. Vòng thủy tinh silica nung chảy giúp duy trì môi trường không bị nhiễm bẩn, rất quan trọng để đạt được chất lượng tấm wafer nhất quán và năng suất quy trình cao.
Vòng thạch anh OP (Opaque) là thành phần chuyên dụng được thiết kế cho các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao, nơi cách nhiệt và giảm hiệu ứng bức xạ là rất quan trọng. So với các vòng thạch anh tiêu chuẩn, Vòng thạch anh OP cung cấp độ mờ cao hơn, che chắn nhiệt tốt hơn và truyền ánh sáng thấp hơn, giúp duy trì điều kiện lò ổn định và giảm thiểu ô nhiễm tấm wafer.
Các vòng thạch anh tiêu chuẩn, trong khi tinh khiết về mặt hóa học và ổn định nhiệt, truyền nhiều bức xạ nhiệt hơn và phù hợp hơn cho các ứng dụng đa năng nơi cách nhiệt ít quan trọng hơn. Việc lựa chọn giữa vòng thạch anh OP và tiêu chuẩn phụ thuộc vào yêu cầu quy trình, thiết kế lò và nhu cầu về độ đồng đều nhiệt và bảo vệ tấm wafer.
Những điểm chính: