Đó làthuyền thạch anh thẳng đứng được thiết kế để giữ an toàn các tấm wafer 200 mm trong các hệ thống lò thẳng đứng được sử dụng cho các quy trình nhiệt độ cao như oxy hóa, khuếch tán và LPCVD. Được sản xuất từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, nó có khả năng chống sốc nhiệt, ăn mòn hóa học và biến dạng cơ học đặc biệt.

Được thiết kế cho các cấu hình tải thẳng đứng, thuyền thạch anh này đảm bảo khoảng cách tấm wafer đồng đều và căn chỉnh ổn định, thúc đẩy phân phối khí đồng đều và tiếp xúc nhiệt nhất quán trên tất cả các bề mặt tấm wafer. Cấu trúc cứng cáp của nó duy trì tính toàn vẹn trong chu trình nhiệt, giảm nguy cơ nhiễm bẩn và nâng cao độ lặp lại của quy trình.

Thuyền thạch anh thẳng đứng có độ tinh khiết cao: chìa khóa cho chất lượng wafer nhất quán

Thuyền thạch anh đứng có độ tinh khiết cao là thành phần thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế để vận chuyển và hỗ trợ các tấm silicon trong các quá trình nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được chế tạo từ thạch anh siêu tinh khiết, những chiếc thuyền này giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm, đảm bảo rằng các tấm wafer vẫn nguyên sơ trong suốt quá trình xử lý.

Thiết kế thẳng đứng thúc đẩy dòng khí đồng đều và phân phối nhiệt trên tất cả các tấm wafer, giảm gradient nhiệt độ và cải thiện tính nhất quán của quy trình. Bề mặt nhẵn, ít tạp chất ngăn ngừa sự tạo ra hạt và giúp duy trì các tiêu chuẩn phòng sạch, góp phần trực tiếp vào năng suất tấm wafer cao hơn và hiệu suất thiết bị đáng tin cậy.

Thuyền thạch anh thẳng đứng bền và ổn định nhiệt, có độ tinh khiết cao chịu được chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại mà không bị biến dạng hoặc nứt. Bằng cách lựa chọn các nhà cung cấp dịch vụ được thiết kế chính xác này, các nhà máy bán dẫn và các cơ sở nghiên cứu có thể đạt được kết quả dễ dự đoán hơn, nâng cao thông lượng và duy trì kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt trong môi trường sản xuất khắt khe.