Đó làthuyền thạch anh ngang Được chế tạo có mục đích để xử lý tấm wafer an toàn và chính xác trong hệ thống lò ngang, được sử dụng rộng rãi cho các quá trình oxy hóa, khuếch tán và ủ trong sản xuất tấm bán dẫn 200 mm. Được làm từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, nó mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, chống ăn mòn và độ chính xác về kích thước.

Thiết kế nằm ngang của nó đảm bảo sự liên kết và khoảng cách của tấm wafer đồng đều dọc theo trục ống lò, cho phép động lực dòng khí được tối ưu hóa và xử lý nhiệt nhất quán trên mỗi tấm wafer. Cấu trúc cứng, ít nhiễm bẩn giảm thiểu biến dạng dưới nhiệt độ cao, giúp duy trì tính toàn vẹn của quy trình và giảm tạo hạt.

Sử dụng thuyền thạch anh nằm ngang trong các ứng dụng khuếch tán, oxy hóa và CVD

Thuyền thạch anh nằm ngang là công cụ thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế để giữ và vận chuyển tấm wafer một cách an toàn trong các quá trình nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng CVD. Được làm từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, những chiếc thuyền này đảm bảo ô nhiễm tối thiểu, duy trì tính toàn vẹn của các tấm wafer nhạy cảm trong suốt quá trình.

Hướng ngang cho phép các tấm wafer nằm phẳng, thúc đẩy phân phối nhiệt đồng đều và tiếp xúc nhất quán với khí xử lý. Thiết kế này giúp giảm độ dốc nhiệt độ, đảm bảo pha tạp hoặc oxy hóa đồng đều và cải thiện năng suất tổng thể của quy trình. Bề mặt nhẵn, ít tạp chất giúp giảm thiểu sự phát sinh hạt, hỗ trợ các tiêu chuẩn phòng sạch và bảo vệ các bề mặt wafer mỏng manh.

Thuyền thạch anh ngang chất lượng cao, bền và ổn định nhiệt, chịu được chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại mà không bị cong vênh hoặc nứt. Bằng cách chọn thuyền thạch anh nằm ngang phù hợp, các nhà máy bán dẫn và các cơ sở nghiên cứu có thể tối ưu hóa tính đồng nhất của tấm wafer, tối đa hóa thông lượng và duy trì kiểm soát quy trình nghiêm ngặt trong các ứng dụng khuếch tán, oxy hóa và CVD.