Đó làVách ngăn thạch anh có lỗ là một thành phần được thiết kế chính xác được thiết kế để tối ưu hóa lưu lượng khí và độ đồng đều nhiệt độ trong hệ thống lò bán dẫn và quang điện. Được làm từ thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cao, nó có khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, trơ hóa học và ổn định cấu trúc ở nhiệt độ cao.

Được đặt ở vị trí chiến lược bên trong các ống hoặc buồng phản ứng, vách ngăn giúp phân phối đều khí xử lý, giảm nhiễu loạn và giảm thiểu ô nhiễm hạt. Thiết kế mạnh mẽ của nó chịu được chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại, duy trì hiệu suất nhất quán trong quá trình khuếch tán, oxy hóa, LPCVD và ủ.

Chức năng của các lỗ trên vách ngăn thạch anh

Các lỗ trên vách ngăn thạch anh phục vụ một số chức năng quan trọng trong quá trình xử lý tấm bán dẫn:

• Phân phối khí đồng đều -Chúng cho phép các khí xử lý (ví dụ: oxy, nitơ hoặc khí pha tạp) chảy đồng đều trên các tấm wafer, ngăn chặn sự tiếp xúc không đồng đều.
• Tính đồng nhất nhiệt -Bằng cách cho phép dòng khí được kiểm soát, các lỗ giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên tất cả các bề mặt tấm wafer, giảm các điểm nóng.
• Kiểm soát ô nhiễm -Các lỗ giúp ngăn chặn dòng chảy ngược hoặc nhiễu loạn có thể mang các hạt lên bề mặt tấm wafer, cải thiện độ sạch của quy trình.
• Nâng cao hiệu quả quy trình -Các lỗ được thiết kế phù hợp tối ưu hóa quá trình trộn và khuếch tán khí, dẫn đến kết quả lắng đọng màng hoặc oxy hóa nhất quán hơn.

Nói tóm lại, các lỗ biến vách ngăn từ một rào cản đơn giản thành một thiết bị kiểm soát dòng chảy chính xác đảm bảo xử lý wafer đồng đều và đáng tin cậy.